MEMS (Sistemas Micro Eletro Mecânicos).

Os sistemas Micro-Eletro-Mecânicos (MEMS) são a integração de elementos mecânicos, sensores, atuadores, e eletrônica em uma pastilha comum de silício com a tecnologia de micro-fabricação. Enquanto a eletrônica é fabricada usando processos de integração de circuitos (IC) (exemplo: CMOS, Bipolares ou BICMOS), os componentes micro-mecânicos são fabricados usando os processos compatíveis "micromachining" que gravam seletivamente partes ausentes numa placa de silício ou adicionam camadas estruturais novas para dar forma aos dispositivos mecânicos e eletromecânicos.

MEMS promete revolucionar qualquer categoria de produto, mediante a união da tecnologia de eletrônica baseada em silício e a tecnologia de Micromáquinas (Micromachining), fazendo possível produção de um "Sistema Completo em um Chip". MEMS é uma tecnologia que permite o desenvolvimento de produtos inteligentes, aumentando a habilidade computacional da micro-eletrônica com as potencialidades da percepção e do controle dos micro-sensores e dos micro-atuadores e expandindo o espaço de possíveis projetos e aplicações.

Os circuitos integrados microeletrônicos podem ser vistos como os "cérebros" de um sistema e os MEMS aumentam esta potencialidade na tomada de decisões como os "olhos" e os "braços", para permitir que os micro-sistemas detectem e controlem o ambiente. Os sensores recolhem a informação do ambiente com os fenômenos mecânicos, térmicos, biológicos, químicos, óticos, e magnéticos de medição. A eletrônica processa então a informação derivada dos sensores e com alguma potencialidade de decisão dirige os atuadores para responder movendo-se, posicionando, regulando, bombeando, e filtrando, controlando desse modo o ambiente para algum resultado ou finalidade desejada. Devido a que os dispositivos MEMS são fabricados usando técnicas de manufatura similares às utilizadas na produção dos circuitos integrados (CI), níveis sem precedência de funcionalidade, confiabilidade, e de sofisticação podem ser colocados em um pequeno chip e com um custo relativamente baixo.