MEMS (Sistemas Micro Eletro Mecânicos).
Os sistemas Micro-Eletro-Mecânicos (MEMS) são a integração de elementos mecânicos, sensores, atuadores, e eletrônica em uma pastilha comum de silício com a tecnologia de micro-fabricação. Enquanto a eletrônica é fabricada usando processos de integração de circuitos (IC) (exemplo: CMOS, Bipolares ou BICMOS), os componentes micro-mecânicos são fabricados usando os processos compatíveis "micromachining" que gravam seletivamente partes ausentes numa placa de silício ou adicionam camadas estruturais novas para dar forma aos dispositivos mecânicos e eletromecânicos.
MEMS
promete revolucionar qualquer categoria de produto, mediante a união da
tecnologia de eletrônica baseada em silício e a tecnologia de Micromáquinas
(Micromachining), fazendo possível produção de um "Sistema Completo em
um Chip". MEMS é uma tecnologia que permite o desenvolvimento de produtos
inteligentes, aumentando a habilidade computacional da micro-eletrônica com as
potencialidades da percepção e do controle dos micro-sensores e dos
micro-atuadores e expandindo o espaço de possíveis projetos e aplicações.